仪器原理

干涉仪是利用移相干涉原理，通过分析干涉图样，可计算出图样的任何一点的光程差，即由于被检测表面的形状或倾斜与参考表面不一致程度。干涉图样所反映的就是被测表面的情况。

检测范围

1、配备检测柱面面型的全息片，可以准确检测柱面面型值。
2、配备检测非球面的补偿镜，可以准确检测非球面面型值。
3、配备加长检测平台，可以检测半径1000以上工件的半径和面型。
4、常规平面与球面的面型监测

检测功能

单镜片反射式/透射式中心偏差测量
有效焦（EFL）距测量
轴上传递函数（MTF）
曲率半径测量
后截距（BFL）测量

技术指标

被测单镜片最大外径:200mm

测量精度:0.2μm

焦距或曲率半径范围:±5-±2000mm

主要应用

目前主要应用于机械件、工装模具、不规则外形零件及光学元件的基本尺寸、角度、距离，以及选取元素间的形位公差和跳动量等。并可准确测量大尺寸（直径300-650mm）与大半径（R 3000+）光学元件的实际半径值。

基本参数

最大行程: 700×700×600

测量精度: (2.6+L/300)μm

工作模式: 手动模式、自动模式

长度测量系统: 玻璃陶瓷光栅尺，分辨率0.2μm

仪器参数

光源:氘灯、钨灯、汞灯，其中汞灯用于波长校准，以确保仪器长期使用波长的准确性。

自动化:全自动偏振器、可变角透射、可变角反射、散射、漫反射、吸收测试功能集中在一个系统里面，不需要在不同的附件之间切换。

带宽:紫外可见：0.01～5nm,0.01nm间隔自动调节；近红外：0.04～20nm，0.01nm间隔自动调节

波长准确度:紫外可见≤±0.08nm；近红外≤±0.4nm

波长重复性:紫外可见≤±0.005nm；近红外≤±0.02nm

光度准确性:±0.00025A(0.3Abs 双光阑法)

分辨率:优于0.048nm（紫外可见区）

设备简介

博信配备Mahr轮廓测量仪可对非球面镜进行高精度测量。

测量参数

垂直方向分辨率2nm
形状误差小于100nm

设备简介

博信配备Zygo白光干涉仪，是一种非接触式的测量方式，是以白光干涉技术为原理，用于测量各类超光滑到粗糙的工件表面。

测量参数

进行从纳米级到微米级工件粗糙度、平整度及微观几何轮廓等的测量。

设备简介

博信配备数字式柱面透镜偏心仪采用卧式结构，能以非接触无损伤的方式对柱面透镜母线倾斜、偏移和楔角进行高效精密测量。

测量参数

柱面透镜偏心测量精度可达土1um。

设备简介

博信配备激光损伤阔值测试仪，采用1064nm水冷式脉冲激光器，可调式激光功率密度，对光学镜片及薄膜进行激光辐射，使用高倍显微镜检测表面缺陷，计算损伤阔值。

测量参数

测试范围10J/cm²-400J/cm2。